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icp刻蚀
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zhuanlan.zhihu.com 工作原理:通过高频感应线圈激发真空腔体内的工作气体(如CF₄、Cl₂、Ar等)电离产生高密度等离子体,等离子体中的活性自由基与材料表面发生化学反应,同时离子在偏压电场作用...
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